熱交換法是目前國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)多晶硅錠的主流方法，美國(guó)GT Solur英國(guó)Cnyual Sytem德國(guó)ALD和KR Solar等公司都采用此法。其工藝特點(diǎn)主要是:坩堝和加熱器在熔化及凝固全過程中均無相對(duì)位移。在坩堝工作臺(tái)底部要設(shè)置一個(gè)熱開關(guān)，熔化時(shí)熱開關(guān)關(guān)閉，起隔熱作用;凝固開始時(shí)熱開關(guān)打開,增強(qiáng)坩堝底部散熱程度，建立熱場(chǎng)。熱開關(guān)有法蘭盤式平板式、百葉窗式等。熱交換法的長(zhǎng)晶速度受坩堝底部散熱強(qiáng)度控制，如用水冷，則受冷卻水流量(及進(jìn)出水溫差)控制。由于定向凝固只能是單方向熱流(散熱)，徑向(即坩堝側(cè)向)不能散熱，即徑向溫度梯度趨于零，而坩堝和加熱器又固定不動(dòng)，因此隨著凝固的進(jìn)行，熱場(chǎng)的等溫度線(高于熔點(diǎn)溫度)會(huì)逐步向上推移，同時(shí)又必須保證無徑向熱流，所以溫場(chǎng)的控制與調(diào)節(jié)難度較大。

   液一固面逐步向上推移時(shí)，液固界面處溫度梯度必須大于零 ，但隨著界面逐步向上推移，溫度梯度逐步降低直至趨于零。從以上分析可知，熱交換法的長(zhǎng)品速度及溫度梯度是變化的。要直勝統(tǒng)高度受限制，要擴(kuò)大容量只能靠增加硅錠的俄面積。此方法的另個(gè)優(yōu)點(diǎn)是除熱開減界不需要可移動(dòng)的部件，所以護(hù)體的結(jié)構(gòu)相對(duì)比較簡(jiǎn)單，熱交換法結(jié)晶爐加熱器有豎放和橫放兩類。

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